Objetivo de cobre plano

Objetivo de cobre plano
Detalles:
El objetivo de cobre plano es un objetivo plano, en forma de disco o de pulverización rectangular utilizados en los procesos de deposición de vapor físico (PVD) para depositar películas de cobre delgadas en sustratos, y puede liberar átomos de manera estable bajo el bombardeo de figuras de alta energía, lo cual es crucial para la fabricación de películas uniformes y de alta calidad. Fabmann se especializa en el suministro de objetivos de pulverización de cobre de alta pureza con la mayor densidad posible y los tamaños de grano promedio más pequeños posibles para su uso en semiconductores, deposición de vapor químico (CVD) y aplicaciones ópticas.
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Descripción
Parámetros técnicos

Fabmann puede suministrar objetivos de pulverización para películas delgadas, y están disponibles monobloque o unidos con dimensiones y configuraciones de objetivos planos de hasta 800 mm. También podemos proporcionar una fabricación personalizada, como perforación de agujeros, roscado, biselado y surcos. Nuestros objetivos de pulverización de cobre (99.99999%) de alta pureza de cena están disponibles para diferentes diseños y configuraciones que son compatibles con todas las armas estándar, incluidas las dimensiones circulares, rectangulares, anulares, ovales, rotativas (rotativas) y personalizadas.

 

Proceso de producción

 

Fabmand utiliza una solución de producción avanzada que incluye cristalización, estado sólido y otros procesos de purificación ultra alta, como sublimación para hacer objetivos de cobre personalizados de alta calidad, y el estricto control del proceso de producción es vital para garantizar la alta calidad, y normalmente tiene los siguientes pasos:

 

√ Producir lingotes de cobre de alta pureza a través de refinación electrolítica, fusión de inducción al vacío y fusión del haz de electrones de vacío.

√ El segundo paso es hacer que el lingote de cobre pase por forja caliente, tratamiento térmico, forjado en frío y tratamiento térmico en secuencia para obtener espacios en blanco de cobre previamente tratados.

√ El blanco de cobre previamente tratado se somete a rodamiento caliente, tratamiento térmico, rodamiento en frío y tratamiento térmico en secuencia para obtener un blanco de cobre en blanco.

√ Retire la piel de los espacios en blanco del objetivo de cobre.

√ Haga un trabajo de mecanizado personalizado para lograr las dimensiones finales y el acabado de la superficie deseados, y es necesario rociar el refrigerante para evitar que el objetivo del tubo de cobre se deforme debido al estrés de mecanizado.

√ Después de moler y pulir, se obtiene el material objetivo de cobre terminado.

 

Prueba y control de calidad

 

Dimension Check of Custom Copper Target

Verificación de dimensión de objetivo de cobre personalizado

 

Fabmann realiza procesos de control de calidad estrictos para toda nuestra entrega, y todos nuestros objetivos de cobre son analizados por varios equipos avanzados, como la fluorescencia de rayos X (XRF), la espectrometría de masas de descarga de brillo (GDM) y el plasma acoplado inductivamente (ICP). Nuestra inspección también implica un conjunto de pruebas como verificación de estructura metalográfica, análisis de oxígeno/hidrógeno para verificar la pureza y la composición del objetivo.

 

Dimensión del producto

 

√ Dimensión personalizada con longitud máxima a 3, 000 mm

√ de 2 "a 8 '', espesor: 0. 125" & 0. 250 ''

√ 1 ", espesor 0. 125"

√ Embalaje de vacío

 

 

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